結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

• 適用于高純應(yīng)用

• FSR 連接

• 內(nèi)部無(wú)彈簧設(shè)計(jì)

• 膜片式硬密封

• 經(jīng)氦氣測(cè)試

材質(zhì)：

• 母體：316L

• 閥座：PCTFE

• 膜片：Elgiloy®

功能特性：

• 流量：Cv 0.17 

• 母體泄漏率：1×10-9 atm cc/sec He

• 閥座泄漏率：4×10-9 atm cc/sec He

• 設(shè)計(jì)驗(yàn)證：最大工作壓力的150%

• 設(shè)計(jì)爆破：最大工作壓力的400%

工作條件：

• 最大工作壓力：300 psi (20 bar)

• 最小工作壓力：真空

• 溫度：-40°C~65°C (40°F~150°F)

氣體執(zhí)行器：

• 操作壓力：70~125 psi

• 入口連接：1/8" NPT(F)

• 工作狀態(tài)：常閉、常開(kāi)

表面加工：

• 標(biāo)準(zhǔn) Ra 20µin

安裝尺寸圖：